簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "林其禹".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="鄭正元"


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    1
    無光罩微影系統之解析度研究
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生： 方偉凱   指導教授： 鄭正元 、 張復瑜
    • 目前主流半導體製程仍採用實體光罩進行黃光微影，但實體光罩有易污染、成本高以及光罩更換與對準曝光等問題。為解決這些問題，本實驗室開發出特殊的無光罩顯微鏡微影系統，其特點為整合了顯微鏡與投影機這兩個不同…
    • 點閱：287  下載：33 

    2
    飛秒雷射加工創新研究-內部結構型擴散片與矽基板裂片應用
    • 機械工程系 /98/ 碩士
    • 研究生： 邱婉玲   指導教授： 鄭正元 、 張復瑜
    • 飛秒雷射具有超短脈衝以及光能量密度極高的特性，且擁有特殊的光化學材料剝離機制。這些特性使其有別於一般雷射而有加工熱影響區小、加工尺寸精密度高、以及熱應力低所帶來的內部加工優勢。利用這些特點，本研究以…
    • 點閱：342  下載：14 

    3
    飛秒雷射微細加工技術應用研究
    • 機械工程系 /100/ 博士
    • 研究生： 謝志華   指導教授： 鄭正元
    • 本論文探討超短脈衝雷射的精密微細加工能力，研究雷射功率、掃瞄速度與聚焦深度對材料的影響。透過觀察加工形貌與材料吸收情況，進行結果分析及建立材料的加工趨勢，以利後續設計雷射加工製程，提出各種不同領域的…
    • 點閱：423  下載：11 
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